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3月6日,高端氟塑料管路供應(yīng)商阿爾法新材料(遼寧)有限責任公司(簡稱“ALFA”)在遼寧省朝陽市經(jīng)濟開發(fā)區(qū)舉辦新品發(fā)布會,正式推出半導(dǎo)體級高純PFA管路產(chǎn)品。新產(chǎn)品是ALFA與科慕集團共同協(xié)作的成果,雙方將科慕的頂級PFA原料與ALFA自主潔凈擠出技術(shù)深度融合,實現(xiàn)了半導(dǎo)體級高純管路國內(nèi)批量投產(chǎn),打破了國內(nèi)先進制程芯片生產(chǎn)用高純PFA管路依賴進口的困頓局面。
在現(xiàn)代半導(dǎo)體芯片的先進制程中,晶體管尺寸已經(jīng)達到了納米級別,比大多數(shù)污染顆粒還要小,任何金屬離子、微粒或化這物質(zhì)進入晶圓表面,都可能會導(dǎo)致短路或斷路,影響電流流動,或者蝕刻不均勻,導(dǎo)致電路結(jié)構(gòu)異常,或者晶體缺陷,影響芯片壽命。芯片制程越小,芯片越先進。芯片越先進,制造工藝中各維度的純凈性要求越高,關(guān)鍵工藝對高純材料的依賴就越高。高純氣體、高純水、高純濕電子化學品都需要高純PFA管路進行輸送。高純PFA管路系統(tǒng)是半導(dǎo)體制造過程中不可或缺的重要組成部分,能有效減少污染,提高芯片良率。在先進制程不斷發(fā)展的背景下,高純PFA管道的重要性將愈發(fā)突出,并成為提升半導(dǎo)體生產(chǎn)效率和質(zhì)量的關(guān)鍵保障。 中國在先進制程芯片(如14nm、10nm、7nm、5nm、3nm及以下)制造方面,面臨諸多技術(shù)難點和挑戰(zhàn)。至2024年底,中國大陸地區(qū)半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)用設(shè)備、材料、關(guān)鍵零部件等整體國產(chǎn)化率不足23%。長期以來,國內(nèi)先進制程所需的高純PFA管路主要依靠進口。為了實現(xiàn)解決高純PFA管路卡脖子的問題,實現(xiàn)國產(chǎn)化,ALFA攜手科慕,采用科慕頂級951HP Plus PFA原料制成高純PFA管路,通過了SGS實驗室 SEMI F57測試,滿足半導(dǎo)體先進制程的需求,在輸送液態(tài)工藝用化學品、清洗液、蝕刻液等超純化學品方面表現(xiàn)卓越。 ALFA董事長孟凡新在發(fā)布會上表示:“在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)邁向更高精度、更先進制程的征程中,我們推出了半導(dǎo)體級高純PFA管路系統(tǒng)。我們與全球材料科學領(lǐng)軍者科慕公司深度合作,采用科慕頂級951HP Plus PFA原料,使得ALFA高純PFA管性能獲得了革命性的提升。我們將以技術(shù)為引領(lǐng),樹立行業(yè)新標桿,讓管路與未來同行,為中國的科技創(chuàng)新之路貢獻力量。” ALFA高純PFA管路被譽為半導(dǎo)體產(chǎn)線的“黃金血管”,實現(xiàn)了純度等級突破:金屬離子析出量低于0.1ppb,達到SEMI F57國際標準,確保晶圓制造全程“零污染”。耐腐蝕性升級:可耐受強酸、強堿及有機溶劑,在180℃高溫下性能穩(wěn)定,壽命較傳統(tǒng)產(chǎn)品提升3倍 。柔性設(shè)計優(yōu)化:內(nèi)壁光滑無死角,彎曲半徑縮小30%,適配精密設(shè)備復(fù)雜管路布局需求。
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