3月6日,高端氟塑料管路供應商阿爾法新材料(遼寧)有限責任公司(簡稱“ALFA”)在遼寧省朝陽市經濟開發區舉辦新品發布會,正式推出半導體級高純PFA管路產品。新產品是ALFA與科慕集團共同協作的成果,雙方將科慕的頂級PFA原料與ALFA自主潔凈擠出技術深度融合,實現了半導體級高純管路國內批量投產,打破了國內先進制程芯片生產用高純PFA管路依賴進口的困頓局面。
在現代半導體芯片的先進制程中,晶體管尺寸已經達到了納米級別,比大多數污染顆粒還要小,任何金屬離子、微粒或化這物質進入晶圓表面,都可能會導致短路或斷路,影響電流流動,或者蝕刻不均勻,導致電路結構異常,或者晶體缺陷,影響芯片壽命。芯片制程越小,芯片越先進。芯片越先進,制造工藝中各維度的純凈性要求越高,關鍵工藝對高純材料的依賴就越高。高純氣體、高純水、高純濕電子化學品都需要高純PFA管路進行輸送。高純PFA管路系統是半導體制造過程中不可或缺的重要組成部分,能有效減少污染,提高芯片良率。在先進制程不斷發展的背景下,高純PFA管道的重要性將愈發突出,并成為提升半導體生產效率和質量的關鍵保障。 中國在先進制程芯片(如14nm、10nm、7nm、5nm、3nm及以下)制造方面,面臨諸多技術難點和挑戰。至2024年底,中國大陸地區半導體行業生產用設備、材料、關鍵零部件等整體國產化率不足23%。長期以來,國內先進制程所需的高純PFA管路主要依靠進口。為了實現解決高純PFA管路卡脖子的問題,實現國產化,ALFA攜手科慕,采用科慕頂級951HP Plus PFA原料制成高純PFA管路,通過了SGS實驗室 SEMI F57測試,滿足半導體先進制程的需求,在輸送液態工藝用化學品、清洗液、蝕刻液等超純化學品方面表現卓越。 ALFA董事長孟凡新在發布會上表示:“在半導體產業邁向更高精度、更先進制程的征程中,我們推出了半導體級高純PFA管路系統。我們與全球材料科學領軍者科慕公司深度合作,采用科慕頂級951HP Plus PFA原料,使得ALFA高純PFA管性能獲得了革命性的提升。我們將以技術為引領,樹立行業新標桿,讓管路與未來同行,為中國的科技創新之路貢獻力量。” ALFA高純PFA管路被譽為半導體產線的“黃金血管”,實現了純度等級突破:金屬離子析出量低于0.1ppb,達到SEMI F57國際標準,確保晶圓制造全程“零污染”。耐腐蝕性升級:可耐受強酸、強堿及有機溶劑,在180℃高溫下性能穩定,壽命較傳統產品提升3倍 。柔性設計優化:內壁光滑無死角,彎曲半徑縮小30%,適配精密設備復雜管路布局需求。
|