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 據(jù)悉，聯(lián)華林德18日宣布將與半導(dǎo)體前驅(qū)體供應(yīng)商宇川精密材料公司合作，預(yù)計未來2年投資總計9000萬元新臺幣在臺南廠區(qū)共同開發(fā)三甲硅烷基胺（TSA）生產(chǎn)設(shè)備及產(chǎn)線，預(yù)估每年生產(chǎn)產(chǎn)能可達3.6噸，并規(guī)劃于2020年第3季投產(chǎn)。

TSA主要用在先進邏輯技術(shù)節(jié)點及3D NAND位元線主要氧化物填充，它使用流動式化學(xué)氣相沉積（FCVD）機臺來將硅電介質(zhì)沉積到淺溝槽隔離技術(shù)（STI）中。由于3D NAND在存儲層中的堆疊層增長，從而增加存儲孔的高度，因此對TSA用量也持續(xù)增長。聯(lián)華林德表示，新型TSA生產(chǎn)設(shè)備將采用最尖端制程，并搭配先進的安全及分析基礎(chǔ)設(shè)施。由于考量供應(yīng)鏈應(yīng)變計劃，此投資計劃的生產(chǎn)廠區(qū)策略性的選在對TSA需求與日俱增的亞洲市場。

針對本次合作案，聯(lián)華林德總經(jīng)理唐靜洲表示，這是公司對本土生產(chǎn)特種氣體承諾的持續(xù)實現(xiàn)，伴隨著聯(lián)華林德Spectra EM產(chǎn)品組合，這項投資將更能穩(wěn)定供應(yīng)公司大陸、臺灣以及亞洲電子業(yè)客戶需求。未來聯(lián)華林德將獨家代理此產(chǎn)品的銷售，并將其納入Spectra EM品牌系列，率先以亞洲市場出發(fā)，陸續(xù)為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的客戶提供服務(wù)。

宇川精密材料主要為半導(dǎo)體廠、太陽能、射頻、光通信、顯示器等行業(yè)專業(yè)提供有機金屬。同時也致力于開發(fā)應(yīng)用于新興半導(dǎo)體原子層沉積（ALD）和化學(xué)氣相沉積（CVD）設(shè)備的各種高純度前驅(qū)體。