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 來(lái)源：濱州日?qǐng)?bào)

4月29日上午，國(guó)科天驥新材料有限責(zé)任公司光刻膠濱州生產(chǎn)園區(qū)交付暨試生產(chǎn)儀式在濱州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)舉行。濱州生產(chǎn)園區(qū)光刻膠項(xiàng)目投產(chǎn)后將主要用于芯片核心材料——高檔光刻膠的研發(fā)生產(chǎn)，標(biāo)志著我國(guó)在光刻膠領(lǐng)域突破國(guó)外技術(shù)封鎖、解決“卡脖子”問(wèn)題，為實(shí)現(xiàn)完全自主產(chǎn)權(quán)邁出了堅(jiān)實(shí)一步。

目前，國(guó)內(nèi)外光刻膠市場(chǎng)日益增長(zhǎng)。預(yù)計(jì)到2022年全球光刻膠市場(chǎng)規(guī)模將突破100億美元。而隨著微電子制造業(yè)精細(xì)度不斷提升，高檔光刻膠的占比也將不斷增大。

據(jù)介紹，在2019年，研發(fā)團(tuán)隊(duì)在濱州開始建設(shè)光刻膠的生產(chǎn)園區(qū)，盡管受疫情影響，歷時(shí)兩年，生產(chǎn)園區(qū)正式交付使用。此項(xiàng)目的交付標(biāo)志著在我國(guó)，一個(gè)高端光刻膠及其相關(guān)材料的企業(yè)將正式投入生產(chǎn)。

光刻是大規(guī)模集成電路和超大規(guī)模集成電路制備過(guò)程中最重要的工藝過(guò)程之一，而作為光刻工藝中使用的核心材料，超高精細(xì)光刻膠也成為了半導(dǎo)體工業(yè)中最關(guān)鍵的材料之一，是制約我國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)健康發(fā)展的“卡脖子”材料。

據(jù)介紹，國(guó)科天驥（濱州）新材料有限責(zé)任公司依托中國(guó)科學(xué)院化學(xué)研究所和理化技術(shù)研究所的頂尖材料、化學(xué)專家團(tuán)隊(duì)，致力于打造新材料、新技術(shù)的創(chuàng)新孵化平臺(tái)。面對(duì)我國(guó)對(duì)光刻膠快速增長(zhǎng)的需求，國(guó)產(chǎn)高檔半導(dǎo)體光刻膠還處于空白狀況。國(guó)科天驥（濱州）新材料有限責(zé)任公司的“超高精細(xì)光刻膠項(xiàng)目”將可以填補(bǔ)上述國(guó)內(nèi)空白。國(guó)科天驥的“超高精細(xì)光刻膠”項(xiàng)目將為保障國(guó)家核心技術(shù)產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略安全貢獻(xiàn)力量，同時(shí)也帶來(lái)顯著的社會(huì)效益和經(jīng)濟(jì)效益，將有利于光刻膠上下游產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。