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銻化銦單晶,是重要的襯底材料,制造而成的銻化銦襯底可以廣泛應(yīng)用在紅外探測(cè)器、光磁探測(cè)器、霍爾器件、磁阻器件等產(chǎn)品生產(chǎn)中
銻化銦,分子式為InSb,是銻(Sb)和銦(In)的化合物,外觀為晶體狀,有銀色金屬光澤,是閃鋅礦型結(jié)構(gòu)立方晶系,質(zhì)地脆、熔點(diǎn)低、不溶于水、有毒性。銻化銦單晶是重要的半導(dǎo)體材料,是III-V族化合物半導(dǎo)體,為直接帶隙半導(dǎo)體材料,具有禁帶寬度較窄、電子遷移率高、量子效率高、響應(yīng)速度快等優(yōu)點(diǎn),可用于紅外探測(cè)器等制造中。 銻化銦是研究起步較早、目前技術(shù)研究較為深入的III-V族半導(dǎo)體材料,在20世紀(jì)50年代已制備出單晶。銻化銦單晶可采用區(qū)域熔煉法、直拉法進(jìn)行制備。多次采用區(qū)域熔煉法可減少銻化銦原料的雜質(zhì)含量,提高其純度;常壓直拉法(CZ法)是目前銻化銦單晶制備的主流方法,通常可制備直徑2-5英寸的晶體,領(lǐng)先企業(yè)制備的晶體尺寸已經(jīng)達(dá)到8英寸。 銻化銦單晶,是重要的襯底材料,制造而成的銻化銦襯底可以廣泛應(yīng)用在紅外探測(cè)器、光磁探測(cè)器、霍爾器件、磁阻器件等產(chǎn)品生產(chǎn)中。在紅外探測(cè)器領(lǐng)域,銻化銦單晶是制造制冷型紅外探測(cè)器的敏感材料,銻化銦探測(cè)器可采用液氮制冷,具有熱靈敏度高、圖像質(zhì)量?jī)?yōu)的特點(diǎn),可廣泛應(yīng)用在軍用與民用領(lǐng)域,例如武器裝備、航空航天、儀器儀表、醫(yī)學(xué)診斷、工業(yè)檢測(cè)、科研等方面。 根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《2022-2026年銻化銦單晶行業(yè)深度市場(chǎng)調(diào)研及投資策略建議報(bào)告》顯示,利用銻化銦單晶制造的紅外探測(cè)器在軍工領(lǐng)域主要用來(lái)制造導(dǎo)彈,例如紅外空空導(dǎo)彈、FIM-92防空導(dǎo)彈等。在軍用高性能紅外探測(cè)器制造中,可采用的靈敏材料主要是碲鎘汞材料與銻化物材料。與碲鎘汞材料相比,銻化銦單晶只能制造單色制冷紅外探測(cè)器,但制備難度較低、成品率較高,可提高軍用紅外探測(cè)器產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)能力,并降低其生產(chǎn)成本,經(jīng)濟(jì)效益更為明顯。 新思界行業(yè)分析人士表示,銻化銦單晶于20世紀(jì)50年代初期被發(fā)現(xiàn),歐美國(guó)家技術(shù)與應(yīng)用研究起步較早,目前主要生產(chǎn)商有IQE集團(tuán)、5N Plus集團(tuán)等。我國(guó)于20世紀(jì)50年代后期開始銻化銦單晶研究,逐步實(shí)現(xiàn)自主生產(chǎn),目前相關(guān)研究機(jī)構(gòu)有昆明物理研究所、華北光電技術(shù)研究所等,主要廠商有中航紅外、光智科技等。中航紅外具備銻化物探測(cè)器研發(fā)生產(chǎn)能力,2021年9月與上海臨港新片區(qū)簽訂投資協(xié)議,推進(jìn)銻化銦芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展;光智科技擁有應(yīng)用于紅外銻化銦晶體生長(zhǎng)的提拉法工藝專利。 |