據報道,近日,科技部高技術中心“戰略性先進電子材料”重點專項管理辦公室組織專家在無錫對國家重點研發計劃專項“聲表面波材料與器件”項目進行了現場中期檢查。專家組聽取了項目組工作匯報,現場觀看了樣品和研發生產現場,一致認為項目全面完成了任務書規定的中期研發內容和考核指標,在成果應用方面取得重要進展。
該項目主要面對物聯網等領域的高性能無源傳感器的需求,實現其在復雜環境和極端環境的多類型傳感器集成應用;研發應用于4G、5G移動通訊終端濾波器的高性能壓電單晶襯底材料和換能器材料,實現高世代聲表面波濾波器的關鍵技術集成,建立高性能濾波器示范生產線。項目進行到中期,研發出了多種具有強(111)織構的高性能Al/Ti(Ni)多層結構換能器材料,使濾波器功率耐受性提升至35dBm;設計并制備出了大帶寬、低插損、小帶內波動的濾波器;聲表面波器件體積減小至1.1×0.9×0.45mm3; 同時建立了自主知識產權的聲表面波材料與濾波器生產線,實現了濾波器的小批量生產。
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