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半導(dǎo)體材料學(xué)專家王曦院士任科技部副部長
文章來源:未知     更新時(shí)間:2019-05-15 15:57:51

 據(jù)新華社5月14日消息,國務(wù)院任命王曦為科學(xué)技術(shù)部副部長。

 

科技部網(wǎng)站提供的資料顯示,王曦此前擔(dān)任中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所所長、中國科學(xué)院上海高等研究院院長、中國科協(xié)副主席。

 

自今年4月起,王曦出任科技部副部長、黨組成員兼中國科協(xié)副主席。

 

王曦:科學(xué)家應(yīng)把自己的研究與國家戰(zhàn)略需要聯(lián)系起來

 

在中國,如果提到高端硅基SOI材料研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化,業(yè)內(nèi)人士都會提到一個名字——王曦。

 

王曦,中國科學(xué)院院士,我國著名半導(dǎo)體材料學(xué)專家,中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所所長、我國高端集成電路襯底材料的主要開拓者和領(lǐng)軍人物。

 

1996年,博士畢業(yè)后的王曦前往歐洲最大的離子束材料研究基地德國羅森多夫研究中心做訪問學(xué)者。

 

1998年6月回國后不久,王曦得知一個震驚中國材料界的消息,IBM宣布將國際公認(rèn)的21世紀(jì)微電子新材料SOI應(yīng)用于處理器芯片生產(chǎn),帶動一批著名半導(dǎo)體跨國公司進(jìn)行這項(xiàng)技術(shù)的開發(fā)。

 

SOI,是Silicon-on-insulator的簡稱,中文譯為絕緣體上的硅。國際上公認(rèn),SOI在低壓、低功耗電路、耐高溫電路、微機(jī)械傳感器、光電集成等方面具有重要應(yīng)用價(jià)值。

 

王曦意識到,提升我國SOI技術(shù)應(yīng)用研究力度、實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程迫在眉睫。

 

33歲的王曦毅然擔(dān)起重任,帶領(lǐng)科研團(tuán)隊(duì),聚焦SOI材料制備中的關(guān)鍵技術(shù)“離子注入”,為了盡快趕上國際先進(jìn)水平,夜以繼日地在實(shí)驗(yàn)室里奮斗。

 

奮斗迎來了曙光。2000年,離子束原位摻雜技術(shù)獲得重要進(jìn)展,相關(guān)論文引發(fā)國際同行高度關(guān)注。

 

2001年7月,為了將科研技術(shù)應(yīng)用于高端集成電路襯底材料SOI開發(fā),王曦推動中科院上海微系統(tǒng)所孵化成立了上海新傲科技股份有限公司。

 

他和SOI課題組的5位博士一同進(jìn)入公司,科學(xué)家王曦轉(zhuǎn)型成為董事長和CEO。

 

經(jīng)過不懈努力,研究團(tuán)隊(duì)開發(fā)了超低劑量SOI工藝,在國際上獨(dú)創(chuàng)了具有自主知識產(chǎn)權(quán)的注氧鍵合Simbond-SOI技術(shù)。

 

王曦坦言,當(dāng)自己和團(tuán)隊(duì)經(jīng)過無數(shù)個奮戰(zhàn)的晝夜,生產(chǎn)出一個個光潤無瑕、晶瑩剔透的“三明治”硅片的時(shí)候,大家的幸福感和激動之情溢于言表。

 

然而,經(jīng)營管理企業(yè),光擁有技術(shù)還遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠,融資、設(shè)備引進(jìn)、技術(shù)突破、開拓市場……所有過程都比預(yù)想的要艱難。

 

王曦說,每一個環(huán)節(jié)遇到的波折都足以使人放棄,僅融資就談了100多家才宣告完成。

 

憑著堅(jiān)忍不拔的信念,王曦和他的團(tuán)隊(duì)協(xié)力奮戰(zhàn),終于實(shí)現(xiàn)了SOI材料產(chǎn)業(yè)化,填補(bǔ)了國內(nèi)空白。

 

中國創(chuàng)造的硅片,遠(yuǎn)銷西方發(fā)達(dá)國家,成功實(shí)現(xiàn)中國微電子材料的跨越式發(fā)展。

 

眾望所歸,“高端硅基SOI材料研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”榮獲2006年國家科技進(jìn)步獎一等獎。上海新傲科技股份有限公司也因成功完成我國8英寸SOI材料產(chǎn)業(yè)化,成為了我國唯一的SOI材料研發(fā)和生產(chǎn)基地。

 

2014年,上海新傲科技股份有限公司和全球最大的SOI生產(chǎn)商法國Soitec簽署了合作協(xié)議,鞏固了雙方的戰(zhàn)略伙伴關(guān)系,樹立了中國企業(yè)在國際上的地位。

 

王曦至今仍記得,當(dāng)年創(chuàng)業(yè)初始,自己在法國曾在Soitec門口轉(zhuǎn)悠,只能和門衛(wèi)聊聊天的情形;沒想到,時(shí)隔多年,自己能和這家行業(yè)巨頭在自己的祖國,平起平坐,握手合作。

 

“做科學(xué)家,尤其是應(yīng)用學(xué)科的科學(xué)家,必須把自己的研究與國家的戰(zhàn)略需要聯(lián)系起來,通盤去想,去布大局,做大事。”在接受《中國科學(xué)報(bào)》采訪時(shí),王曦如是說。(文章來源:《中國科學(xué)報(bào)》)

 

簡 歷

 

王曦,中共黨員。中共第十九屆中央候補(bǔ)委員。中國科學(xué)院上海冶金研究所畢業(yè),研究生學(xué)歷,工學(xué)博士學(xué)位,中國科學(xué)院院士,研究員。

 

1983年9月至1987年9月在清華大學(xué)學(xué)習(xí)。

 

1987年9月至1990年6月在中國科學(xué)院上海冶金研究所碩士研究生學(xué)習(xí)。

 

1990年6月至2001年7月留所工作,歷任研究室副主任、主任。

 

2001年7月至2019年4月在中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所工作,其中:

 

2001年7月至2002年3月任第三研究室主任,

 

2002年3月至2004年4月任所長助理、第三研究室主任,

 

2004年4月至2007年3月任副所長、黨委副書記,

 

2007年3月至2009年3月任黨委書記、副所長,

 

2009年3月至2010年7月任黨委書記、常務(wù)副所長,

 

2010年7月至2016年6月任所長。

 

2016年6月至2019年4月任所長兼中國科學(xué)技術(shù)協(xié)會副主席,其間:

 

2017年4月任中國科學(xué)院上海高等研究院院長。

 

2019年4月任科學(xué)技術(shù)部副部長、黨組成員兼中國科學(xué)技術(shù)協(xié)會副主席。

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